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主题：【已应助】请问有朋友做过晶圆盒中气体分析吗？有那些可能的成分？用什么方法？

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Ins_9e925627
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2022/1/26 14:37:30 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般都是测阴阳离子和金属离子，没遇到过测气体的
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symmacros
jimzhu
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2022/1/27 14:54:05 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由Ins_9e925627(Ins_9e925627)发表:一般都是测阴阳离子和金属离子，没遇到过测气体的
是的，确实一般是测定金属离子多。
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