主题:【已应助】赛默飞前进样口载气为0

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Ins_37301765
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赛默飞的气相有两个进样口,一个前进样口,一个后进样口,后进样口没啥问题,前进样口的载气压力为0,软件上打开柱流量和吹扫流量后,打开前进样口的阀门也没气体泄漏斯斯的声音,衬管和隔垫都换了,就是没有用,关键是前进样口的气体接口那里是有气体进入的。
推荐答案:sdlzkw007回复于2023/06/06
估计是阀组件有故障了
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sdlzkw007
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Ins_37301765
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原文由 sdlzkw007(sdlzkw007) 发表:
估计是阀组件有故障了
我也是这么觉得,主要是工程师上门太贵了
xiaogumd11
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安平
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p3166332
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如果前后进样口是一样的,可以对调一下位置排查下是不是进样口模块有问题,SSL进样口模块拆开,里面有三个电磁阀,如果是电磁阀的问题,可以对调一下位置看看,进样口总流量,隔垫吹扫,分流流量肯定有一个不正常
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