主题:请教:能谱仪的性能

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haikou95
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各位,目前国内常见的几种能谱仪,硬件方面的差别大么?
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zemb
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    能谱仪硬件及性能没有太大的差别,有的型号在某些方面有点长处,主要还是看你的喜欢、你的要求。
quanwei315
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能谱仪的硬件差别很大,能谱仪硬件是由探测器,数据采集系统(主要是脉冲处理器和ADC构成),计算机系统和图像采集系统组成。探测器窗口有几种不同的材料,大致分为Be窗(元素探测范围Na-U)和超薄窗(Be-U)。探测器晶体材料也有几种,SEM&TEM上传统使用Si(Li),必须工作在液氮温度下,现在最新应用SDD只需-23度,电致冷器则足以,前不久从火星探测器上传回的岩石成份谱,就是使用SDD探测器收集到的(想要了解此技术可登录www.roentec.com)。前置放大器的电路也千差万别,最大的区别在于场效应管的类型和极数,因此使用不同窗口材料,晶体,前置放大器,制冷方式组合可以产生十几种不同性能,指标,价格的探测器。数据采集系统分为模拟型和数字型,模拟型中有有零点稳定功能单峰自动校准的(Noran公司的产品,北京意力博通技术发展公司的Laegue系列产品具备此功能),无零点稳定功能的双峰校准式(Oxford公司和EDAX公司的产品),前者是因为有下位机自动检测和控制硬件状态有效的提高了仪器的稳定性,模拟型中有具备快速鉴别器和慢速鉴别器的如Noran公司,Oxford公司和EDAX公司的部分产品,北京意力博通技术发展公司的Laegue系列产品具备此功能,及只有快速鉴别器的产品,前者可接配探测轻元素的探测器。当前普遍采用的是数字脉冲处理器,具有零点稳定功能和多个鉴别器,性能稳定,峰背比好,探测范围Be-U,Rontec,Noran,EDAX,Oxford和北京意力博通技术发展有限公司的ELEGRE都是采用数字脉冲处理器。计算机系统有专用计算机,PC机,工作站,双CPU工作站,后两者主要是高档系统采用。图像系统有ISA,PCI卡式,和专用图像板式,不管是哪一种分辨率和采集速度是主要指标,可以肯定的是高分辨和高速度需要配置高性能计算机,灰度图像的高分辨并不重要,Mapping的分辨率和速度是发展方向,只有Mapping的分辨率和速度与灰度图像一致才可能采集到彩色图像,现在只有使用SDD探测器的能谱仪能做到,因为它的输出计数率高达275Kcps和很小的死时间(采集1024*1024的Mapping仅需120S),Si(Li)仅有50Kcps(采集128*128的Mapping就需要1200S)
zzhao
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semuser
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好!长知识!
终于对几家能谱公司的产品有点本质上的了解了。
楼上的同志何时再多介绍介绍?
haikou95
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小心翼翼的问:只有Mapping的分辨率和速度与灰度图像一致才可能采集到彩色图像。能详细解释一下么,谢谢
seanwen
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applehuang
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quanwei315
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我们知道二次电子像和背散射像是黑白反差像,而mapping像是单一元素分布像,一般一个样品中会有两种元素以上(纯元素就没必要做分析了),为了区分不同元素分布情况仪器会自动赋给每种元素一个色度值,在能谱仪中无论什么图像都是被数字化的,所以二次电子像或背散射像与mapping像像素点一致的时候将他们叠加在一起,才能点对点重合形成一幅静态彩色图像,而它们采集速度也一致的时候,当然就可以实时叠加形成一幅动态的彩色图像,但实际上并没有这么简单,只有当Mapping分布像积分值达到一个很高的水平,图像视觉效果达到灰度像那样,它们迭加起来才可能有彩色图像效果,。传统的Si(Li)探测器能谱仪是不可能做到的,因为它的死时间太大,输入/输出转换率低,分辨率随计数率变化曲线上升太陡(恶化的快),所以在使用中只能控制和保持最佳输入/输出转换率(3000左右)与死时间(30%),据此你可以假设一幅X*Y点阵,点逗留的时间tuS的Mapping像,计算一下所用时间和每点可能收到的有效计数的值,结果可以用两句偏激的词语形容:不可忍受!惨不忍睹!当然前提是你看过SDD探测器采集的Mapping像以后。由于这种新的彩色图像效果拓展了人们的视野,将以前不能直接观察到现象活生生的展现在面前,所以必将产生新的应用,特别在半导体行业和失效分析领域里应用效果最佳。
xrfsply
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shxie
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