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主题：每周一问2：恐怕谈及电镜这是最经典的话题：形貌和成分

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renxin
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发表于：2005/07/26 15:54:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该帖子已被renxin设置为精华；
请问，我们常说电子光学中利用二次电子像观察样本形貌，利用背散射电子像观察样本成分，这个概念到底对不对？
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2005/7/26 15:56:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这也是我见过的最困扰的电镜问题之一，糊嘟了我很长时间呢。
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Last edit by RENXIN
shxie
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2005/7/26 16:13:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个跟SE和BSE探头收集的信号有关系吧，二者都包含了SE和BSE信号，只是比例不同，SE电子反应的是样品表面5－10 nm的信号，是形貌，BSE是微米级深度的信号，应该和成份有很大关系，但是我们得到的SE图像和BSE图像其实两者都包含，也就不能严格的定义为形貌像和成份像。
是不是这个意思？
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SeanWen
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2005/7/26 19:19:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
二次电子是入射电子束跟样品发生非弹性碰撞产生的电子，所以能量比较低，由于倾斜效应和边缘效应，它们对样品表面非常敏感，在不同形貌区域产生的二次电子的量会不一样，所以它们可以表现样品的形貌特征。

而背散射电子是入射电子跟样品发生弹性碰撞产生的电子，能量基本没有损失，所以能量较高，而背散射电子的产额会随着原子序数的增加而递增（好像是原子序数效应？），所以它们能辨别样品中成分差异较大的区域，原子序数差越大，明暗对比越明显，但不可以分析样品的成分，只能通过对比来粗略的辨别元素在样品中的分布情况。

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renxin
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2005/7/26 19:21:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 shxie 发表:
这个跟SE和BSE探头收集的信号有关系吧，二者都包含了SE和BSE信号，只是比例不同，SE电子反应的是样品表面5－10 nm的信号，是形貌，BSE是微米级深度的信号，应该和成份有很大关系，但是我们得到的SE图像和BSE图像其实两者都包含，也就不能严格的定义为形貌像和成份像。
是不是这个意思？

好，出手不凡！
但这个问题是一周的， 所以我就      接着问 ，假如我用的是普通的钨灯丝电镜， 我想看纯形貌图像，纯表面图像，还有纯成分图像， 我应该怎么处理呢
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renxin
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2005/7/26 19:33:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 SeanWen 发表:
二次电子是入射电子束跟样品发生非弹性碰撞产生的电子，所以能量比较低，由于倾斜效应和边缘效应，它们对样品表面非常敏感，在不同形貌区域产生的二次电子的量会不一样，所以它们可以表现样品的形貌特征。

而背散射电子是入射电子跟样品发生弹性碰撞产生的电子，能量基本没有损失，所以能量较高，而背散射电子的产额会随着原子序数的增加而递增（好像是原子序数效应？），所以它们能辨别样品中成分差异较大的区域，原子序数差越大，明暗对比越明显，但不可以分析样品的成分，只能通过对比来粗略的辨别元素在样品中的分布情况。

请问，通过纯二次电子像，  我们可以分辨出样品的形貌吗。
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Last edit by RENXIN
shxie
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2005/7/26 20:31:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 renxin 发表:
好，出手不凡！
但这个问题是一周的， 所以我就      接着问 ，假如我用的是普通的钨灯丝电镜， 我想看纯形貌图像，纯表面图像，还有纯成分图像， 我应该怎么处理呢

看到你问这些问题，觉得你在解释LEO的特殊工作原理了，呵呵。我其实也弄的不是很清楚，问问其他朋友吧
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SeanWen
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2005/7/27 12:46:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 renxin 发表:
请问，通过纯二次电子像，我们可以分辨出样品的形貌吗。


正如您在FARADAY CAGE中讲到，看SE图像时也会有BSE的成分，而看BSE图像的时候也会有些SE的成分，从看到的资料上来说的话，纯二次电子像应该是可以分辨出样品的形貌的，但我自己没有看过纯二次电子像，也就不好说了！
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shxie
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2005/7/27 13:42:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 renxin 发表:
好，出手不凡！
但这个问题是一周的， 所以我就      接着问 ，假如我用的是普通的钨灯丝电镜， 我想看纯形貌图像，纯表面图像，还有纯成分图像， 我应该怎么处理呢

需要在最佳收集位置收集特定的信号吧，LEO的设计理念里面就有这个。
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renxin
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2005/7/27 14:40:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
两位高手  的  回答都是点睛之笔，  请大家继续不吝指教。
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semuser
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2005/7/27 14:51:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
单纯的形貌像是可以得到的，用半导体式背散射探头的形貌像模式可以得到样品单纯的起伏像，也就是形貌像，但图像起伏效果显得比较圆滑，真实度不如二次电子像；
浅层像，我理解是低加速电压二次电子像；
纯的成分像有点麻烦，背散射探头的成份像模式依然含有形貌信息，好像只有能谱的面分析时有纯的成分像。
老大，何时有答案？
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