主题:【转贴】X光电子能谱分析的基本原理及应用

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xpeem就可以的
原文由 shxie 发表:
原文由 zno 发表:
请问 X光电子能谱 能做微区分析吗?就象EDS一样附在SEM或TEM上做微区成分分析。

据专家说现在有了,现在的分析技术基本都向多维和成像发展,尽量多容纳更多的信息。另外俄歇成像已经早就有了,清华就有一台。
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当然可以!
现在的XPS谱仪可以进行最小15微米的微区分析。当然这要结合成像XPS才能做到。目前成像XPS最好的是Kratos公司的AXIS UltraDLD。结合该仪器的“从图得谱”功能,最小分析束斑可以降低到3微米左右。
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