主题:化学试剂等级知识

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liulianzhi
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chem_man
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我看了一下 似乎还有要求更好的纯度没有列进去吧?
zhongfen8174
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还有每个标准的控制参数没有列出来
如:
    EL级:优于美国SEME C1标准,控制1μm颗粒,控制十多个金属元素,单项金属元素控制在100PPb。
VL级:介于EL与UL之间,控制0.5μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10~100PPb。
UL级:等同于美国SEME C7标准,控制0.5、0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10PPb以下。
SL级:等同于美国SEME C8标准,控制0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在1PPb以下。
                                                写得详细点就好了
shaweinan
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