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主题：【原创】热质量流量计

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莞城.XiShui
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发表于：2012/07/10 20:51:32 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
通过测量流体的温度的升高或热传感器降低来测量流体速度。热式质量流量计没有移动部件或孔，能精确测量气体的流量。热质量流量计是少数能测量质量流量的技术之一，也是少数用于测量大口径气体流量的技术。
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莞城.XiShui
chenboyou
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2012/7/10 20:53:19 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
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松茂竹苞
v2653968
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2012/12/7 15:34:34 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
热式的MFC性价比较好，但由于原理所限，响应时间一般都是秒级，精度一般也在1%以外，不太适用于需要快速响应或超精确控制的场合，比如实验研究，真空镀膜等。响应慢，也决定了当不但要测量，还要控制流量时，其PID控制超调不好控，波动大。

在这些场合，建议使用差压式质量流量控制器或流量计，不过一般场合，热式的绰绰有余了。
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2012/12/7 15:36:40 Last edit by v2653968
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