主题:【讨论】气体质量 流量计MFC

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依风1986
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Agilent 700系列预计730,735有配置气体质量流量计MFC,你了解MFC吗?
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质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC),它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制电路和分流器控制通道等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
千层峰
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原文由 广结善缘(gengguangshan) 发表:
质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC),它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制电路和分流器控制通道等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
流量传感器一般都用进口的,太贵了。。
依风1986
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原文由 千层峰(jxyan) 发表:
流量传感器一般都用进口的,太贵了。。
是的,Agilent 710 都使用的是气动式调节的,一般都是调节到180KPA-200KPA,这种就不是MFC,相对不精密
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