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主题：【已应助】气相8890隔垫吹扫零点变为17左右

浏览0 回复15 电梯直达
越鹅儿
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发表于：2022/10/27 17:18:01 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们有台8890，隔垫吹扫的流速设置小于17时，仪器显示为17ml/min左右，用流量计测隔垫吹扫出口为0，如果设置流量高于17，则仪器显示读数为设定值，流量计测得隔垫吹扫流量=设定值-17左右，而分流出口流速多了差不多17，这是EPC 里面压力传感器崩了吗。。。求大佬支招
推荐答案：墨林回复于2022/10/29
分流和吹扫的epc是不同的两路。估计epc堵了！
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zyl3367898
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2022/10/28 23:18:44 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
隔垫吹扫要3mL就行了。
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2022/10/28 23:19:16 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2022/11/4 11:11:10 Last edit by v2911392
墨林
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2022/10/29 23:13:01 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分流和吹扫的epc是不同的两路。估计epc堵了！
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深蓝
mitsumi
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2022/10/30 10:26:18 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
估计是哪里堵了，需要排查，不好判断
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zyl3367898
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2022/10/30 22:31:13 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分流出口管路是否有气泡冒出，可能是分流堵塞了。换个分流捕集阱试试。
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xx_dxd_xx
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2022/11/1 9:44:18 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我估计是隔垫吹扫口的压力传感器零位不准了，要校正。如果8890的EPC结构跟7890一样，那么隔垫吹扫流量就应该是靠压力传感器计算的，大致就是流量与压力成正比的关系。如果压力测定有问题，流量就不准，如果传感器零位不准了，本来压力为0，但是显示为大于0的一个值，，就出现楼主描述的情况。而分流口也是没有流量传感器的，显示的分流流量是总流量减去柱流量减去吹扫流量，吹扫流量显示偏高，分流流量肯定显示偏低。
该帖子作者被版主 zyl3367898加 5积分， 2经验，加分理由：应助
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皮蛋豆腐竹
p3253359
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2022/11/1 16:18:12 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
测试一下分流出口捕集阱的流速
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zyl3367898
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2022/11/1 22:46:14 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如何校准呢？能在仪器面板上完成吗？
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dadgoh
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2022/11/2 11:19:08 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查一下隔垫吹扫流路是否堵了，一般设置3mL/min即可。17才有气有点不正常。
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安平
byron1111
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2022/11/2 21:40:38 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很可能存在硬件故障，建议报修一下为好。

此外
检查确认purge出口是否有堵塞现象，
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