主题:【已应助】Co基单晶合金的双喷减薄

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Ins_f9559010
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之前做Co基的双喷一直用8%高氯酸+92%乙醇  出来一堆小孔 比较大的孔周围薄区也不好 想知道是要改变双喷液呢 还是改参数 之前是试过40V还有60V的电压
推荐答案:m3033883回复于2023/03/09
这个估计是样品里有大的第二相。没有什么好办法。可以直接离子减薄或者双喷一定时间后(不穿孔)再离子减薄。
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m3033883
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这个估计是样品里有大的第二相。没有什么好办法。可以直接离子减薄或者双喷一定时间后(不穿孔)再离子减薄。
北京有色金属研究总院
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办法很多。提高双喷液温度减小择优腐蚀,增加感光值,溶液加一些缓蚀剂,或者更换硫酸甲醇系,高氯酸甲醇甘油系等等
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