客户报修一台SPD-10A,出现 ERR OVER CURRENT 报错,D2灯点不亮.更换D2后,点灯正常,但报错 CHECK NO GOOD而且能量很低,230nm,REF只有130多。打开仪器后,发现光栅反射出的光斑有偏差,调整后,230nm,REF有700多,正常,但仪器重启后还是报错,能量很低
原文由 justice 发表: 客户报修一台SPD-10A,出现 ERR OVER CURRENT 报错,D2灯点不亮.更换D2后,点灯正常,但报错 CHECK NO GOOD而且能量很低,230nm,REF只有130多。打开仪器后,发现光栅反射出的光斑有偏差,调整后,230nm,REF有700多,正常,但仪器重启后还是报错,能量很低