实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8023015今日发帖：22 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
X射线衍射仪（XRD）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【新手求助】10 nm的氧化钛该怎么测XRD

浏览0 回复3 电梯直达
Ins_6e625b3b
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2024/04/26 19:22:26 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：10积分 状态： 已解决
很薄的氧化钛（大概可以做1到10nm）想要测XRD，咨询了几个测试机构都说太薄了测不了，但是现在需要测薄膜的晶相和结晶度（哪怕测出来是没有结晶也无所谓，但是需要一个测试结果），想问一下各位大佬这种情况下还有什么测试方法可以用，我看好像GIXRD和拉曼也都需要比较厚的。（PS：搜了一些氧化钛做XRD的文章，也都是很厚的样子，50到200nm的那种）
推荐答案：iangie回复于2024/04/29
如果基板平整的话，10nm的氧化钛膜是可以做GID的。甚至可以做XRR。
如果基板不平的话，X射线就无能为力了， 可以考虑微区AFM
为您推荐
近期热榜
热门活动
专属顾问快速对接
获取验证码
立即提交
iangie
iangie
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2024/4/29 16:36:08 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果基板平整的话，10nm的氧化钛膜是可以做GID的。甚至可以做XRR。
如果基板不平的话，X射线就无能为力了， 可以考虑微区AFM
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
田仕家
v3078320
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2024/4/29 22:56:07 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不妨换一个思路，测拉曼它不香吗～
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
m3033883
m3033883
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2024/5/3 13:32:43 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你考虑过用透射电镜吗？你的薄膜是在什么材料上面？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
猜你喜欢 最新推荐 热门推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁