主题:【分享】氦质谱仪检漏原理

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?氦质谱检漏仪的原理基于质谱分析技术,使用氦气作为示踪气体进行检测。?其工作原理如下:

  • ?生成氦气?:通过电离和液态分离等方法生成极高纯度的氦气?。
  • ?检测氦气?:将氦气注入检测系统,如果系统内部存在泄露,氦气会通过泄露的地方外溢?。
  • ?测量氦气浓度?:通过氦质谱仪测量在检测区域内氦气的浓度,如果浓度发生变化,说明存在泄露?。
  • ?确定泄露位置?:通过氦质谱仪和其他检测设备(如红外热像仪、电磁波探测仪等)确定泄露的位置?。
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