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主题：【求助】【求助】测量薄膜厚度

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zhining

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发表于：2004/12/08 07:22:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我现在需要测量ITO薄膜的厚度，透明的薄膜，大概200纳米左右。用椭偏仪行不行？是不是还需要薄膜的折射率？希望各位大侠指导一下

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2004/12/8 9:34:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

没有问题,我们公司的产品可以测量单分子膜厚,请和我们联系:周先生,021-64196861,13764311649

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sanwen9

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2004/12/26 22:45:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

椭偏仪只能测周期厚度吧，我记得不能测真实厚度的，不过还是用这个测膜厚

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loutlout

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2005/1/12 12:44:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我们这边用ET3500台阶仪测厚度的，可以精确到几个纳米！！

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seeyouer

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2005/1/21 18:12:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

几百纳米的用什么啊?

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kanojeo

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2007/12/29 12:57:49 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

f40也可以测

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cgcg_2000

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2008/3/17 14:56:15 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

可以采用接触式的探针台阶仪,好多厂都用来测玻璃上的膜

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sumerz

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2008/8/18 11:37:08 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

ITO的话可以有几种解决方案
我这里有用光折射率和反射率测多层膜厚的仪器，自动计算N，K值
可以mail我进行联系
还有其他的方案，更省钱
欢迎来mail询问

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liugw123450

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2008/8/20 17:55:24 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我们公司有一种仪器：NKD（折射率、绝对吸收系数、厚度）测量高级薄膜表征系统，可以满足楼主的要求。应该是一个比较理想的工具。
与椭偏仪相比，主要优点有：
可对透明基片进行测定，而不需要对样品进行前处理，（椭偏仪不能测透明样品，对于透明样品需要做特殊处理，很麻烦）波长范围宽，同时测定反射光与透过光，准确测定n k d值，大的角度范围，
计算简单，椭偏仪数据处理很复杂，需要很专业的知识。

光谱范围：280-2300nm
光谱分辨率：1nm
厚度范围：1nm-25um
最多可以测五层薄膜
基片：透明、半透明、半吸收、半导体
角度范围：0-90度

感兴趣请跟我联系：
13146188127
刘先生
北京

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2008/8/20 18:26:11 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

ＩＴＯ薄膜的方阻由四探针法测量，透光率由平面光栅单色仪通过测量载玻片制膜前后的透光率的比值求得，ＩＴＯ薄膜厚度由质量法求得。

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atlas

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2008/8/21 9:20:13 10楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 liugw123450 发表:
我们公司有一种仪器：NKD（折射率、绝对吸收系数、厚度）测量高级薄膜表征系统，可以满足楼主的要求。应该是一个比较理想的工具。
与椭偏仪相比，主要优点有：
可对透明基片进行测定，而不需要对样品进行前处理，（椭偏仪不能测透明样品，对于透明样品需要做特殊处理，很麻烦）波长范围宽，同时测定反射光与透过光，准确测定n k d值，大的角度范围，
计算简单，椭偏仪数据处理很复杂，需要很专业的知识。

光谱范围：280-2300nm
光谱分辨率：1nm
厚度范围：1nm-25um
最多可以测五层薄膜
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