主题:【原创】EDS成分分析和电子束作用范围

浏览0 回复44 电梯直达
共工
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 amoslau 发表:

加速电压和透镜电流的波动会加大色差,色差直接影响到电子探针的直径。
束斑绝大程度上取决于电子束的孔径角,透镜电流和末光阑在绝大程度上影响着孔径角;最佳孔径角(像差得到了最大的控制)时达到最小束斑,此时还要考虑工作距离和聚焦条件,长工作距离下最小束斑是不可能汇聚到样品上的。以上束斑指电子束探针与样品表面的束斑。

另外透镜的分辨率与电子束波长成反比,高电压能够有效地消除像差。另外降低加速电压降低了亮度而提高了衬度,但是电子束探针直径被加大了,牺牲了分辨率。以上为个人观点,这么说对不对?如不对,为什么,请给出理由!

个人觉得还是很佩服您的,但觉得有些细节不太明白, 透镜电流的波动应该不会影响电子光路的色差,但会影响束斑的质量好坏,从而影响聚焦质量,还有您在这里指的得是哪一级的透镜呢

理论上长工作距离下也可以用小束斑达到聚焦,但信噪比偏低,成好像就困难。

亮度其实是不受加速电压影响的,亮度是系统中的黑度值,是表示显示中的黑色到底有多黑的调节, 叫offset.

请再发表您的看法。

德国工兵
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
adu110
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
磨剪子嘞 锵菜刀
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 RENXIN 发表:

亮度其实是不受加速电压影响的,亮度是系统中的黑度值,是表示显示中的黑色到底有多黑的调节, 叫offset.



大侠您好,我指的是物透镜。

对于黑度值,向您学到了,谢谢,您能不能系统的讲讲高加速电压对电子光学的影响,我本人只是在应用中感性的一些理解,很多东西还找不到科学依据,请大侠不吝赐教。
SHMILYLQ
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
rikdolphin
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
我们仪器为LEO1530 FE-SEM 的EDS  实验工程师讲:一般地,20kv下,使用Inlens EDS分析范围为2*2*2μm的体元。 ~~~仅供参考!
ruifenzhao
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
共工
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 tao______ 发表:
潜水学习中,冒个泡支持一下!学习到了!


多谢冒泡。
共工
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 amoslau 发表:
原文由 RENXIN 发表:

亮度其实是不受加速电压影响的,亮度是系统中的黑度值,是表示显示中的黑色到底有多黑的调节, 叫offset.



大侠您好,我指的是物透镜。

对于黑度值,向您学到了,谢谢,您能不能系统的讲讲高加速电压对电子光学的影响,我本人只是在应用中感性的一些理解,很多东西还找不到科学依据,请大侠不吝赐教。


我觉得加速高压主要在三方面影响电子光路,
一是 高加速电压, 较小电子波长,成像分辨率便有所提高,    这也是为什么透射电镜比扫描电镜分辨率高的原因, 透射可以看原子级,扫描只有在极限状态下才行。
二是高加速电压,发射源稳定性较好,因此降低了光路中的色差,使得成像分辨率提高, 现在诸多厂家采用在发射源处的能量滤波器,就是使得加速电压不论高低都可以较为稳定, 市场做得最好的是  FEI的TITAN300KV,也就是吹得最好的,玩笑。
三是, 高加速电压使得 电子束在通过镜筒光路中时受到的偏转影响较小,这个影响是由于镜筒中的污染引起的。所以光路中的像散就较小,成像质量自然较高。

一家之言,请大家再多讨论。
wbslandy
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
我觉得加速高压主要在三方面影响电子光路,
一是 高加速电压, 较小电子波长,成像分辨率便有所提高,    这也是为什么透射电镜比扫描电镜分辨率高的原因, 透射可以看原子级,扫描只有在极限状态下才行。
二是高加速电压,发射源稳定性较好,因此降低了光路中的色差,使得成像分辨率提高, 现在诸多厂家采用在发射源处的能量滤波器,就是使得加速电压不论高低都可以较为稳定, 市场做得最好的是  FEI的TITAN300KV,也就是吹得最好的,玩笑。
三是, 高加速电压使得 电子束在通过镜筒光路中时受到的偏转影响较小,这个影响是由于镜筒中的污染引起的。所以光路中的像散就较小,成像质量自然较高。

一家之言,请大家再多讨论。

    renxin大侠的这个分析个人感觉还是比较入理,
    这也印证了不久前日本的SII (Seiko公司)向
    我们推介它的Guzik系统电镜时的说法.
    他们给我们作presentation时就提到他们为了
    提高分辨率, 有个专门的设计, 就是在二级聚
    焦镜之上安装一个加速电场,以便更好地降低色
    差(原理类似如Renxin版主上面的三条),然后在
    电子束着陆(打到样品)之前装一个减速电场,将
    已聚焦完美的高速电子束减速.
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
品牌合作伙伴