主题：对芯片快速大面积摄像

原文由 hpyao 发表:
  1) 在上海我们找了很多单位都不能测试环境震动、电磁环境什么的，有什么专业的单位可以测？联系方法？价格几何？
  2) 用什么防震台比较好？对于2万倍以下的放大，震动问题是否很难解决？

原文由 hpyao 发表:
刚刚发现这个网站，欣喜ing！有一些疑问，敬请DX们赐教啊！

我们的应用是芯片的检查，对分辨率要求不是很好，10nm足够了，但是对扫描速度和电流稳定性要求很高
  1) 我们需要对一块芯片进行全芯片的摄像，需要连续拍摄几万张高分辩率SEM图像的矩阵，要在一个合理的时间内完成，每张的扫描时间最好在10s以内。
  2) 几万张照片需要几十个甚至上百个小时的连续拍摄，必须要全自动，因此焦距必须很稳定，也就是电流要很稳定（也许一天停下来调2次焦距还是可以的）

什么样的SEM能够最好地满足我们的需求呢？我们进行了很多调研，得到了一些信息，请DX们帮助判断是否正确：
  1)

我们的场地是确定的，在六楼，震动、电磁都是问题，但是我们可以进行专门的装修和购买减震台
  1) 在上海我们找了很多单位都不能测试环境震动、电磁环境什么的，有什么专业的单位可以测？联系方法？价格几何？
  2) 用什么防震台比较好？对于2万倍以下的放大，震动问题是否很难解决？

从电流稳定性方面考虑，FE－SEM是最佳选择，但是我们不需要很高分辨率，环境也达不到要求，买FE－SEM有些浪费；
W－SEM电流稳定性很差，寿命甚至不能满足一次连续摄像，速度又慢，不能考虑
LaB6－SEM对于我们的应用，是不是最好的选择？速度和FE-SEM不知道相差多少？

以上问题确实很棘手，哪位DX对SEM方面比较了解，敬请和我联系：haiping.yao@gmail.com，139 1634 4697

Thanks in advance!

以来就问这么多，惭愧...不过真的是很急...

原文由 tao______ 发表:
买LEO的或者FEI的SERION系列吧，贵是贵了点，东西真的不错。

原文由 hpyao 发表:
非常感谢各位DX的热情回答！！！

我总结了以下，基本上是：

1. 对于我们的应用，还是需要热场
2. 震动是个问题，但是如果肯花钱，还是能够解决的
3. 如果使用热场，能够达到速度要求

是这样吗？

根据我个人尝试的经营，速度目前还是一个问题，因为我们对图像质量要求还是比较高的，我试过一台LEO是最快的，需要10s左右（1万倍），而我们期望在3秒以内。