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主题：【求助】请问XRF测薄膜厚度如何做啊

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mingmingtao
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发表于：2007/10/30 20:01:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们有个布鲁克的XRF，我想用来测薄膜厚度，可是每次都计算不收敛，

我薄膜主要是ITO玻璃上的TiO2，WO3等等。

各位大侠请了。

惭愧啊惭愧，
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天枫
thunder_pk
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2007/11/14 11:56:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 mingmingtao 发表:
我们有个布鲁克的XRF，我想用来测薄膜厚度，可是每次都计算不收敛，

我薄膜主要是ITO玻璃上的TiO2，WO3等等。

各位大侠请了。

惭愧啊惭愧，


XRF好像只能测试金属镀层的厚度。
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lll929
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2007/12/2 21:16:45 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这需要厂家给装上测试镀层厚度的软件,才可以测试膜度.
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arbo
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2007/12/11 11:00:33 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你的膜有多厚，如果薄的话采用发射法，测膜种主要元素的强度，如果比较厚的话，采用吸收法，测基体材料中主要元素的强度。注意不同谱线在材料中的临界厚度。
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