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三维显微激光拉曼光谱仪

三维显微激光拉曼光谱仪装置Nanofinder®30


　Nanofinder®30 三维显微激光拉曼光谱仪装置是日本首创,世界最初的分析装置。它能在亚微米到纳米范围内,测定物质化学状态的三维图像。它由共焦激光显微镜,压电陶瓷平台(或电动扫描器)和光谱仪组成。并能自选追加原子力显微镜和近场表面增强拉曼测定的功能。   

最新测量数据[ 变形Si的应力测定]PDF刊登 
用二维的平面分析来评价变形Si。空间分辨率<130nm, 变形率0.01%(0.1cm偏移)。




半导体/电子材料(异状物,应力,化学组成,物理结构)
薄膜/保护膜(DLC,涂料,粘剂)/界面层,液晶内部构造
结晶体(单壁碳纳米管,纳米晶体)
光波导回路,玻璃,光学结晶等的折射率变化
生物学(DNA, 蛋白质, 细胞 组织等)
 




以亚微米级分辨率和三维图像,能分析物质的化学结合状态
空间分辨率200nm(三维共焦点模式),50nm(二维TERS模式)
能同时测定光谱图像(拉曼/萤光/光致荧光PL),共焦显微镜图像,扫描探针显微镜图像
(AFM/STM)和近场表面增强拉曼图像(SERS)
能高速度,高灵敏度地测定样品(灵敏度:与原来之比10倍以上)
不需要测定前样品处理,在空气中能进行非破坏测定
全自动马达传动系统的作用,测定简单
 




共焦显微镜模式不能识别结晶缺陷,然而光致荧光(PL)模式却能清楚地测到结晶缺陷 
共焦激光显微镜模式的形状测定 
光谱窗 560 nm 
用光致荧光(PL)模式测到的结晶缺陷的光谱图像(560nm的三维映像)



用AFM和共焦显微拉曼法同时测定CNT,能判定它的特性 (金属,半导体)和纯度。  同时测定单壁碳纳米管(CNT)的原子力显微镜(AFM) 形貌图像和拉曼光谱图像的例子 :





拉曼光谱: 激光488nm,功率1.5mW,曝光时间2 sec,物镜100×Oil, NA=1.35, 积分时间100 sec (AFM和拉曼图像测定时) AFM形貌图像(右上)表示了单壁碳纳米管混合物的各种形状结构。图像中用数字1到8来表示其不同形状。数字1-6测得了拉曼光谱(上图所示),判定为半导体CNT。但7-8测不到拉曼光谱,所以不是半导体CNT,而可能是金属CNT(可用He-Ne激光633nm验证)。最上面表示了RBM(173cm-1), G-band(1593cm-1)及D-band(1351cm-1)的拉曼光谱图像 



综合激光器和光谱分析系统的长处,坚固耐用的复合设计,卓越的仪器安定性,是纳米技术测定装置中的杰出产品。

※日本纳米技术2004大奖
“评价和测量部门”得奖.

※日本第16届中小企业优秀技术
和新产品奖
“优良奖”得奖.
光学器件配置图Nanofinder®30





三维显微激光拉曼光谱仪装置Nanofinder®30
三维显微激光拉曼光谱仪装置Nanofinder®30