原文由 drizzlemiao 发表:
由此我想到另一个问题。如果样品表面起伏比较大,比如有个小山包,或者球形颗粒,那么背向EDS探头的一侧的信号是否会受明显影响?这种影响在定量分析中如何考虑?虽然软件里都有ZAF校正,但是那个只考虑样品内部对X光信号的影响,样品形貌千差万别,这个因素是无法预先设定的。
我用TEM比较多,把样品朝EDS探头转动十多度可以有效避免样品内部对低能信号的吸收。形貌的影响不必考虑,因为TEM样品表面不会有太大起伏。形貌的因素可以忽略。但是在SEM里,这个因素好象不能轻易忽略。