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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】如何用SEM/EDX的数据来判断金属表面是否有过氧化现象？多谢了！

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firesoul119

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发表于：2009/08/25 22:26:50 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

同行们好！
关于EDX的元素分析，我得到的描述是：EDX的元素分析是半定量的，特别对于微量的元素；且元素比例受观测条件和样品形貌的影响。。。
请问大家，如何利用EDX做金属表面氧化程度的判断呢？

目前我能想到的做法如下：
1 NG品（可能存在氧化的样品）和OK品（新品或未发现有任何问题的样品）放同一载物台上，相同处理，同时进样；
2 相同的观察条件下，分析相同的区域。

目前得到的金属表面氧含量数据是： OK ，<3%,NG =7-17%； NG》OK。

目前遇到的问题是
1 氧含量可能受样品表面可能存在的有机污染物的影响，（不能反映金属的表面含氧量）
2 EDX 自身的误差（数值本身较小时，其他影响因素的影响力相对较大）
3 关于是否过氧化，目前我这边没有找到一个标准，有可能17%也是正常的也不一定。

请各位同行帮忙想想办法，如何解决这个氧化问题，多谢大家了！

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2009/8/26 4:19:43 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

对金属表面进行元素分系，能谱绝对是不理想，俄歇谱仪能担当此任。

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firesoul119

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2009/8/30 22:19:09 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

多谢楼上！我查了一下俄歇电了能谱（AES），发现其探测的深度和EDX不同；
“靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高”，而EDX的探测深度为2UM左右（Al表面），这样的话，两者的数据是否有可比性？
Sn的氧化层厚度我这里还没有数据，请大家不吝赐教！多谢了！

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fengyonghe

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2009/9/1 1:26:51 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

下面网页可以参考。
http://www.instrument.com.cn/search/BBSArchive_345602_1.htm

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michaeljackson

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2009/9/8 11:14:17 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我司现有原装进口EDX光管、标样、迈拉膜等消耗品，价格优惠有需要的请联系13560322323，区先生。

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firesoul119

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2009/9/13 4:21:49 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe 发表:
下面网页可以参考。
http://www.instrument.com.cn/search/BBSArchive_345602_1.htm

引用以下：
铝表面自然生长的氧化膜通常小于10nm，如果经过退火处理，氧化膜会随温度升高而增厚，曾经有人用SEM-EDS 测量铝样品表面区的氧的相对含量（面积比），并利用ESCA 化学分析电子光谱测量氧化膜的厚度，最后得出氧化膜厚度和氧相对含量的关系式，这样就可以通过电镜能谱得到氧化膜的厚度。

但以上方法对于电镜的试验条件变化比较敏感。

又听说利用辉光光谱GDS或GDOES可以测量类似的氧化膜厚度，即通过测量氧的浓度分布来反映膜的厚度，我相信这是可行的，各位谁知道上海哪里有这样的仪器？

又听说可以用XPS来测量膜厚，谁知道这方面的信息？

END

多谢楼上的指教！请问各位同行，如果是CU上镀SN，部品在储放的过程中SN层发生的氧化是如何的？
有没有同行分析过？或有相关的数据资料？
如此的氧化会对部品的质量和使用有何影响？导电不良？表面不平整疏松么？多谢了！

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