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主题：【讨论】哪位大神给我看看这种形貌是不是电子束造成的损伤

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gkd_0000
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发表于：2015/03/24 15:46:08 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用蔡司的 Merlin compact拍的 , 样品是镀锌板上面刷镀的一层耐指纹涂层（树脂），约1-3个um厚，导电性较差，没有喷金。同样的样品在FEI的quanta 250上却怎么也找到这种多孔结构，做电镜的老师认为这种形貌不是样品的典型结构。所以我想问这种多孔结构难道是电子束打出来的？ 如果是打出来的是不是应该排列比较规则啊？
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2015/3/24 15:47:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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plasmodesmal
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2015/3/24 16:01:50 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.这个形貌在merlin compact上普遍吗？
2.quanta 250电压多少？
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仙后婧婧（谭思婧）
v2989334
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2015/3/24 17:42:38 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电子束怎么也不会打成这个样子吧
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小M
mitchell_dyzy
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2015/3/24 20:16:41 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看着不像电子束打出来的，如果样品本身是多孔的，并且是树脂这种不耐电子束击打的材料，电子束会使孔径变大
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gkd_0000
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2015/3/26 10:23:05 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊


原文由 plasmodesmal(plasmodesmal) 发表:
1.这个形貌在merlin compact上普遍吗？
2.quanta 250电压多少？
1 不好说，当时没有多照几张，只有在Merlin compact 的inlens探头下才能照出这种效果，在SE2下照不出来.
2 quanta 250用的电压是5kV, WD=6.4mm.
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2015/3/26 10:30:38 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
看着不像电子束打出来的，如果样品本身是多孔的，并且是树脂这种不耐电子束击打的材料，电子束会使孔径变大


在SU5000也做了下， SU5000有点儿奇怪，背散射像照出来的效果和Merlin compact的SE2 照出来的效果差不多，直径约为10nm的小颗粒也能分辨出来，不过SU5000的SE2就不行了，荷电很严重没法拍。是不是我这个样品有点儿怪啊
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小M
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2015/3/26 12:16:59 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gkd_0000(gkd_0000) 发表:
在SU5000也做了下， SU5000有点儿奇怪，背散射像照出来的效果和Merlin compact的SE2 照出来的效果差不多，直径约为10nm的小颗粒也能分辨出来，不过SU5000的SE2就不行了，荷电很严重没法拍。是不是我这个样品有点儿怪啊
树脂的导电性应该不好，荷电是正常的，所以我有点怀疑你上的图也是BSE图像……
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gkd_0000
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2015/3/27 13:25:20 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊


原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
树脂的导电性应该不好，荷电是正常的，所以我有点怀疑你上的图也是BSE图像……
这张图是用的inlens 探头， 是二次电子探头，可能是我的样品成分衬度比较大，基体是树脂，那些小颗粒是无机盐，inlens探头也会收集到部分背散射信号吧

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fengyonghe
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2015/3/27 15:00:43 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你在发原始贴时应该介绍清楚
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gao007007
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2015/3/31 10:39:14 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果样品导电性不好，Zeiss Merlin的Inlens探头不喷金应该荷电没法拍，用InlensDuo背散射模式是可以的
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