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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】够买扫描电镜

浏览0 回复6 电梯直达

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发表于：2009/10/12 17:04:20 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

如题：打算购买一台扫描电镜，要求：荧光分析仪可以使用，电子束曝光可以使用。能谱可以不用。Zeiss的热场好像束流较小，荧光分析仪用起来比较困难。不知道大家有什么看法。

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2009/10/12 20:24:37 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

高级用户，希望多学习！
能否大家讲讲具体应用在那些研究方面，也算种得梧桐树了！

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Frinight

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2009/10/13 14:34:51 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请允许我插两句。
您想做的CL所要求的束流一般在20nA左右，Zeiss的场发射束流最高能达到30nA以上，应该是够了。不过您觉得束流还是不够，FEI场发射可以排除。因为FEI的最大束流比Zeiss还要小。这样您只能考虑日立要么是日本电子。

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Last edit by hui7808

insulater

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2009/10/13 20:30:56 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 hui7808 发表:
请允许我插两句。
您想做的CL所要求的束流一般在20nA左右，Zeiss的场发射束流最高能达到30nA以上，应该是够了。不过您觉得束流还是不够，FEI场发射可以排除。因为FEI的最大束流比Zeiss还要小。这样您只能考虑日立要么是日本电子。

呵呵
说的有理

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wangsheng16

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2009/10/14 9:20:21 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

FEI的场发射Probe current是100nA啊,
日立日本电子的热场发射价格,质量方面是劣势,冷场才是优势吧.

原文由 hui7808 发表:
请允许我插两句。
您想做的CL所要求的束流一般在20nA左右，Zeiss的场发射束流最高能达到30nA以上，应该是够了。不过您觉得束流还是不够，FEI场发射可以排除。因为FEI的最大束流比Zeiss还要小。这样您只能考虑日立要么是日本电子。

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golf

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2009/10/14 19:27:40 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

FEI把NanoSEM 200/400/600升级为230/430/630了，把Quanta FEG 200/400/600升级为250/450/650了。主要的改变之一是最大束流到100nA。
其实蔡司想改也应该不难，主要是加一个大光阑嘛。德国公司还是比较死板的。FEI原来也是几十nA（记不清具体数字了），升级后就达到100nA了。蔡司可以到40nA，但是选购。Jeol可以到200nA。
总体感觉这个指标是市场竞争的结果，对用户实际使用意义不大，谁会在上百个nA下拍图像？分辨率怎样？图像质量呢？样品污染严重否？......
再说句大实话，如果要求不高，买便宜的就行了。日本的其实也一样能用。FEI或蔡司如果更便宜，那更好。

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2013/8/8 12:52:43 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我个人觉得不光是荧光分析仪还是电子束曝光都最好是基于热场束流较大的扫描电镜上使用。Zeiss的热场束流小，可以选择其他的品牌，性价比都比Zeiss高很多。电镜四大品牌中，属FEI的热场发射扫描电镜是性价比最高的，不妨可以考虑一下。我们从香港理化购买的FEI热场发射扫描电镜+NPGS电子束曝光一套用的确实很不错的，所以发表下个人使用看法。至于荧光分析仪就不太肯定了，毕竟没怎么用过。

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