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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【FAQ】低真空-能谱分析

浏览0 回复17 电梯直达

cz_sem

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发表于：2004/04/23 17:03:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

在低真空状态下会发生样品台（比如铝台或铜座）或其它样品被激发，导致测试样品打出样品本不含有的铝或铜等元素，在数据处理时应扣除。

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2004/4/23 20:43:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

那要是样品中本来就有铝或铜，就不能做啦!你用的是什么能谱仪和电镜？怎么会在低真空下工作呢？

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cz_sem

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2004/4/24 11:28:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

当然不得已才会在低真空做，我做的是光纤断口。可以用导电样品在高真空和低真空下能谱做比较，就会出现低真空下异常元素干扰。

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wqy404

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2004/4/26 11:17:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我也用低真空做过能谱分析，当时心里还在奇怪，明明没有铜的怎么会出现铜元素。但是你能告诉铜是怎么被激发的吗？另外用低真空做能谱不好，主要是有少量空气会在探头上积水或者冰，影响分辨率。

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applehuang

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2004/4/26 20:37:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我想问一下，杜瓦瓶中结冰了会影响能谱分析吗？结冰后应该怎么把他清理掉呢？

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cz_sem

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2004/4/30 11:06:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

warm-up就可以了，下次使用时用coolingdown

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石天铎

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2004/8/9 16:47:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请问杜瓦瓶内部真空下降如何解决？
有那里可以进行抽真空处理？？

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quanwei315

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2004/8/10 22:00:00 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 石天铎 发表:
请问杜瓦瓶内部真空下降如何解决？
有那里可以进行抽真空处理？？

请和陈先生联系，它是能谱专家。电话：13701115274。

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jjc406

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2004/8/12 15:28:00 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我用的是日立的s-3000n+Horiba Emax-energy﹐在低真空狀態下進行樣品元素分析的時候也發生將樣品台上的元素打出來﹐適當調高真空度﹐該種狀況可以大大的減少。理論上電子束只能穿透<10nm的薄層﹐無法穿透樣品層而直接打到樣品台上造成其元素激發。
低真空這種現象發生的原因可能是二次電子散射造成detector收集到電子束打到樣品台上的二次電子造成的。
高真空這種現象也可能發生﹐其原因可能是電子束打在樣品上瞬間溫度抬高﹐樣品如果不耐高溫有可能就被擊穿﹐造成電子束打在樣品台上。
上述兩種狀況均有可能產生不希望出現的元素被探測到。
不知各位看法如何??

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