实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8075486今日发帖：66 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描电镜（SEM/EDS）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【讨论】10nm的薄膜如何用扫描电镜观察

浏览0 回复5 电梯直达
lilaoshi
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2010/08/20 19:35:24 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
10nm或小于10nm的薄膜总是做不好截面样品,也无法拍清楚膜层照片,大家在做超薄膜时有什么经验和体会,写出来大家分享.
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 扫描电镜（SEM） 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
相关阅读
asahi42
asahi42
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/8/20 22:13:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
冷冻断裂都没有办法搞定的话，您考虑一下离子切割把，但不是FIB。主要冷冻断裂出来的样品界面不够平整，容易造成失焦。10nm而且是薄膜，用冷场减速合并小束流试试吧，但是样品台要自己加工一个。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
dullrobber
dullrobber
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/9/5 18:05:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好好专业啊
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
lilaoshi
lilaoshi
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/9/12 10:24:20 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这么好的问题没有探讨,先发个图片,大家看看如何改进,
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
golf
golf
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/9/13 10:09:34 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这种用FIB比较合适吧，或离子减薄？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
carbonfilm
carbonfilm
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/9/20 8:53:35 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个问题我也很头疼，同问一下啊
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 【讨论】10nm的薄膜如何用扫描电镜观察
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁