主题:【原创】钨灯丝SEM的低加速电压图像

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RoadCH
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该帖子已被madprodigy设置为精华;
众所周知,SEM低加速电压条件下由于出射信号深度浅,可获得更多表面细节信息的图像。

但钨灯丝扫描电镜随着加速电压值的减小,其分辨率明显降低,同时也可能由于探针束流的减小引起图像信噪比变差。

因此,低加速电压图像质量的好坏更贴现了HI-SEM的性能优劣以及操作人水平的高低。

下面发一些日立钨灯丝SEM低加速电压条件下的图像,抛砖引玉,欢迎讨论。

1、电池粉末样品:


该帖子作者被版主 huangtao030710积分, 2经验,加分理由:精彩,欢迎继续
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RoadCH
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golf
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钨灯丝拍成这样真的很不错了
样品导电吗?喷过金吗?
该帖子作者被版主 huangtao03075积分, 2经验,加分理由:积极参与
RoadCH
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3、太阳能电池表面图像
主要元素是Si,加速电压越高,电子束穿透越深,图像越“朦胧”;加速电压越低,表面细节越多,形貌表现更“真实”

Vacc. 15KV  图像倍率 X5000



Vacc. 5KV  图像倍率 X5000


Vacc. 3KV  图像倍率 X5000
RoadCH
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多孔纤维那个样品喷了少量Pt,其他两个样品没喷镀直接观察的。

原文由 golf(golf) 发表:
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钨灯丝拍成这样真的很不错了
样品导电吗?喷过金吗?
asahi42
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那个5kV放大20k倍的束流用了多少?
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2010/8/31 8:42:55 Last edit by asahi42
RoadCH
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低加速电压的图像仅仅是用来体现操作技巧吗?答案显然是否定的,低加速电压相对于高加速电压有许多更实际的应用优势。

1、可以降低导电性不良样品的荷电现象。
如【电池粉末样品】成分是LiFePO4,属于导电性不好的样品,在低加速电压下可以不喷金直接观察,不会出现放电现象。不喷金的优势在于节约成本和避免喷镀引起的形貌改变。

2、可以减轻电子束辐照对样品的损伤。
如【合成多孔纤维】,在高加速电压条件下很容易造成损伤。


3、低加速电压条件下可以观察到样品的表面细节形貌。
如【太阳能电池表面图像】,低加速电压条件下更利于表征表面细节形貌。

4、低加速电压还有其他的优势,如提高EDX元素分析的空间分辨率等。
RoadCH
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Ip=15,也用10试过,图像稍暗,信噪比差点

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
那个30k的束流用了多少?
〓疯子哥〓
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roadch兄拍的很棒,特别是太阳能电池表面那个图很漂亮
RoadCH
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过奖了

我见过很多电镜用户对所有样品都使用15KV~30KV的高加速电压,其实不少情况下低加速电压条件下可以获得更好的实验结果,希望上面的实验结果说明能给电镜操作者带来一些有益的启示。

原文由 〓疯子哥〓(madprodigy) 发表:
roadch兄拍的很棒,特别是太阳能电池表面那个图很漂亮
linzq
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