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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【讨论】扫描电镜进行3D形貌模拟

浏览0 回复5 电梯直达

Insm_5225054a

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发表于：2018/08/25 17:13:32 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

扫描电镜图像进行3D形貌模拟的基本方法或者原理是什么？有资料吗？看很多厂家的SEM都带有这个软件功能？

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2018/8/26 23:11:44 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

有几种方法：
1、二次电子探测，样品台倾斜，然后图像处理，得到3D
2、4或5像限背散射探测器，样品不用倾斜，得到3D
3、4个二次电子探测：（A B）-(C D)，得到3D
4、FIB一边切，一边扫描，得3D
5、加个AFM模块轻敲模式，得3D

是要测摩擦度？要求不高，第一、二种就可以

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Insm_5225054a

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2018/8/26 23:22:50 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 m2921742(m2921742) 发表:有几种方法：1、二次电子探测，样品台倾斜，然后图像处理，得到3D2、4或5像限背散射探测器，样品不用倾斜，得到3D3、4个二次电子探测：（A B）-(C D)，得到3D4、FIB一边切，一边扫描，得3D5、加个AFM模块轻敲模式，得3D是要测摩擦度？要求不高，第一、二种就可以

兄弟的说法深得我意啊，我想知道具体的计算原理

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2018/8/26 23:28:31 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 m2921742(m2921742) 发表:有几种方法：1、二次电子探测，样品台倾斜，然后图像处理，得到3D2、4或5像限背散射探测器，样品不用倾斜，得到3D3、4个二次电子探测：（A B）-(C D)，得到3D4、FIB一边切，一边扫描，得3D5、加个AFM模块轻敲模式，得3D是要测摩擦度？要求不高，第一、二种就可以

对于1样品太倾斜大概是这个原理，4和5AFM和FIB也是很容易理解的，可是对2和3不是很清楚，我们希望得出其一个轮廓，比如知道晶体表面的粗糙度或者刻蚀后的坡度角。