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主题：【已应助】求分享热场发射扫描电镜在低电压模式下的拍摄技巧

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扫描兔
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发表于：2021/04/07 14:35:44 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用的是蔡司的热场发射扫描电镜，之前一直使用5KV 30的光阑和8mm的公距，但是最高在10万倍左右 照片的分辨率就比较低了，最近看了一些网上的照片，发现有些电压500V左右的照片 最大可以放大到40万倍还可以很清晰，想学习下这方面的知识和技巧，求大家分享一下这方面的资料 下图是在网上看到的
推荐答案：It is me!回复于2021/04/08
低电压高分辨需要使用inlens检测器，你把WD减小到5mm以内，越小效果越好，可以到1-2mm
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2021/4/7 16:34:12 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
低压应该看不了这么高的倍数，如果能看应该不是扫描电子显微镜
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砂锅粥
czcht
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2021/4/7 16:38:43 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这图片是FEI的。可能样品导电性特别好？
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2021/4/7 16:39:13 Last edit by czcht
扫描兔
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2021/4/7 22:16:42 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 砂锅粥(czcht) 发表:这图片是FEI的。可能样品导电性特别好？
FEI比蔡司的要好吗？
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It is me!
hmzhou83
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2021/4/8 7:11:04 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
低电压高分辨需要使用inlens检测器，你把WD减小到5mm以内，越小效果越好，可以到1-2mm
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2021/4/8 7:12:52 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果离合肥比较近的话可以来我们（高校测试中心）看看实际测试效果。
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扫描兔
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2021/4/8 8:17:41 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 It is me!(hmzhou83) 发表:低电压高分辨需要使用inlens检测器，你把WD减小到5mm以内，越小效果越好，可以到1-2mm
那工作距离在5mm以下是不是应该用小光阑呢？
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It is me!
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2021/4/8 21:17:38 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 扫描兔(Insm_1e81666e) 发表:那工作距离在5mm以下是不是应该用小光阑呢？
20的就可以，太小的话信号弱很难调
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violet清净
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2021/4/25 9:10:18 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
虽然放大倍数很大，但粒子的尺寸并不是很小，应该比较容易拍清楚的
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canne_yswei
canne_yswei
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2021/4/28 11:41:53 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用500V加速电压，就是一个考验耐心的过程。心稳 手稳。把调节电镜状态的每一步都做到最好。剩下的就是慢慢调吧。
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SEMDriver
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2021/6/4 19:56:17 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
低电压高分辨 WD推到2mm以内，用inlens ，一般优先使用中间光栏（20&30示型号不同而不同），如果荷电比较重 再考虑小光栏，另外你的电镜型号是多少呢？
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