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主题：【分享】高通量（场发射）扫描电子显微镜技术进展

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hmzhou83
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发表于：2023/06/23 20:31:27 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分享一篇关于高通量SEM的文献。《电子显微学报》2023年4月，第42卷第2期。

本文重点阐述高通量扫描电镜概念与发展的过程，具体介绍了高通量扫描电镜拟要解决的问题和对应的设计思路，给出了综合数据通量的定义和影响因素。同时阐述了相应的实现手段，分别从重要模组角度介绍高通量扫描电镜的核心性能。通过实际案例计算，分析比较了高通量扫描电镜与标准场发射扫描电镜间的结果差异。探讨了高通量扫描电镜适合应用的领域，同时指出了目前的设计还存在的不足并展望该技术今后的发展前景。
附件：
高通量(场发射)扫描电子显微镜技术进展.pdf 所需积分(5)
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yayicuo
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2023/6/24 14:42:08 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我知道有个高通量测序，现在又知道了高通量扫描电镜。
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