主题:【讨论】影响等离子体的温度变化主要有哪些因素?

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依风1986
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影响等离子体的温度变化主要有哪些因素?
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原文由 999youran(999youran) 发表:
房间的温湿度
这个具体如何影响的?
abcpgf
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原文由 依风1986(xurunjiao5339) 发表:
这个具体如何影响的?
个人感觉,不知道对错呢
荆棘鸟fiona
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周围环境:环境温度、湿度、气体流速都会有影响吧?
风住尘香
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等离子体的温度还是由RF电源的功率,冷却气来决定的,房间的温度这些影响的是仪器的稳定性,对等离子体的温度几乎没有影响。
pet
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应该有好几个方面吧,比如说载气流量.载气压力和功率等等.
依风1986
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原文由 风住尘香(v2714039) 发表:
等离子体的温度还是由RF电源的功率,冷却气来决定的,房间的温度这些影响的是仪器的稳定性,对等离子体的温度几乎没有影响。
是的,周围环境影响仪器稳定性,光室温度等
依风1986
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原文由 pet(v2918422) 发表:
应该有好几个方面吧,比如说载气流量.载气压力和功率等等.
具体是如何影响的?能介绍下吗?
依风1986
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原文由 荆棘鸟fiona(v2648817) 发表:
周围环境:环境温度、湿度、气体流速都会有影响吧?
环境因素是最明显的,温度范围,湿度范围
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