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mxchen1215
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发表于：2021/12/07 14:55:33 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
【序号】：１
【作者】：Akinori Ohkubo, Janghwi Lee, Hyungu Kim, Jiyoung Chu, Sungho Jang, Sangwoo Bae, Wondon Joo
【题名】：Signal-to-noise ratio evaluation for the nanometer-scale patterned defect inspection using dark-field microscopy with tailored polarization illumination
【期刊】:Proceedings Volume 11485, Reflection, Scattering, and Diffraction from Surfaces VII; 114850N (2020)
【链接]: https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/11485/114850N/Signal-to-noise-ratio-evaluation-for-the-nanometer-scale-patterned/10.1117/12.2567116.short?SSO=1
推荐答案：dahua1981回复于2021/12/07
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2021/12/7 15:01:33 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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