主题:【已应助】sem操作

浏览0 回复2 电梯直达
Ins_cf4048ae
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sem点击home后样品无法复位,并出现异响,是为什么?
推荐答案:mingxiaoyan回复于2021/10/27
把样品台手动移动到离卡住的位置比较远的地方
看看下面有没有杂物
如果没有可以将z轴的信号线拔下,然后用表测量中心的线,看看是否与样品台导通。
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砂锅粥
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有没有什么东西卡主样品台下面滑轨之类的?好好检查一下。另外就是是否润滑不够?
mingxiaoyan
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把样品台手动移动到离卡住的位置比较远的地方
看看下面有没有杂物
如果没有可以将z轴的信号线拔下,然后用表测量中心的线,看看是否与样品台导通。
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