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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【讨论】请问EDS测试过程中经常出现Al峰，为什么呢？

浏览0 回复4 电梯直达
zhaoxj0820
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发表于：2007/11/25 09:37:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近在做EDS过程中发现，即使样品中没有Al，仍然会测到Al，为什么呢？
不会使我们的能谱出现问题了吧，才用了不到1年啊
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2007/11/25 19:08:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你们用的holder是不是铝的？有可能是打到Holder上了。个人意见，仅供参考。
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德国工兵
tao______
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2007/11/25 19:49:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你可以
1.换不同的样品试试看
2.Cu，Zn样品台试试看
如果以上两种情况下铝还是都出现，我怀疑是你探测器的准直器出了问题，准直器是铝的，如果不小心被碰歪了，肯定会出现铝峰，准直器的内壁一般都涂了薄薄的C层，为了防止杂散射线二次激发铝壁产生铝峰！所以说也有可能内壁的C层被破坏了！
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磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2007/11/26 10:52:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tao______ 发表:
你可以
1.换不同的样品试试看
2.Cu，Zn样品台试试看
如果以上两种情况下铝还是都出现，我怀疑是你探测器的准直器出了问题，准直器是铝的，如果不小心被碰歪了，肯定会出现铝峰，准直器的内壁一般都涂了薄薄的C层，为了防止杂散射线二次激发铝壁产生铝峰！所以说也有可能内壁的C层被破坏了！


8错，实践出真知！
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dameguyah
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2007/11/28 20:29:56 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
太近了，相对于样品没有接收角度，接收的铝的射线可能是扫描电镜末级光阑附近的本件上来的。让工作距离WD远一点就好了。
我遇到过这个问题。顺便问一下：你的是什么型号的电镜？
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