主题:【求助】(已应助)求外文文献3篇

浏览0 回复3 电梯直达
mayllen
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【序号】:1
【作者】:C. L. Chao; J. Neou
【题名】:Model reference adaptive control of air-lubricated capstan drive for precision positioning 
【期刊】:Precision Engineering
【年、卷、期、起止页码】:2000, vol.24, no.4
【全文链接】:

【序号】:2
【作者】:T. Fujii, M. Suzuki, M. Miyashita, M. Yamaguchi, T. Onuki, H. Nakamura, and T. Matsubara
【题名】:Micropattern measurement with an atomic force microscope
【期刊】:J.Vac.Sci.Technol.B.
【年、卷、期、起止页码】:1991, vol.9, no.2
【全文链接】:

【序号】:3
【作者】:Fredric E. Scire and E. Clayton Teague
【题名】:Piezodriven 50-µm range stage with subnanometer resolution
【期刊】:Rev.Sci Instrum.
【年、卷、期、起止页码】:1978, vol.49, no.12
【全文链接】:
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