ICP—OES在测定三氯氢硅中硼磷含量的应用
李新
昊华宇航化工有限责任公司,河南焦作454001
《中国氯碱》
2009年第7期
摘 要:介绍了采用ICP—OES测定三氯氢硅中硼、磷含量的原理及测量方法,试验结果表明,本方法灵敏度高、可靠性好、操作简单,可取代
ICP-MS。 (共3页)
关 键 词:ICP—OES 三氯氢硅 硼 磷 应用
学科分类:TQ056.16[工业技术 > 化学工业 > 一般性问题 > 化工机械与仪器、设备 > 化工仪器、仪表及自动化装备 > 化工仪器、仪表 > 分析仪表]
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