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主题：【求助】急问_AES的depth profiling

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发表于：2010/05/27 12:48:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问大家

一般来说，AES在做depth profiling时

sputter速度一分钟只有个位数的nanometer
因为我深度想做1 micro meter左右，用AES耗时太久，成本高

请问何种仪器depthprofiling的sputter速度最快？

感激不尽
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2010/5/27 16:30:22 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SIMS最快，但是要求你的样品导电性好
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