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主题：请教：氩离子刻蚀后样品的荷电问题如何解决？

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scientific
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发表于：2005/12/07 13:07:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：20积分 状态： 已解决
当绝缘样品经过长时间的氩离子轰击后，可能会导致样品表面累积大量的正电荷，荷电位移可以高达一百多电子伏特。
累积的正电荷会随时间逐渐转移走，荷电位移因此逐渐减少，但很长时间都不能够稳定。例如窄扫过程中扫第一个元素时位移50eV，扫最后一个元素时位移40eV。使得荷电校正非常困难。
请教你们在实践中是否曾经遇到这个问题？如何避免该问题的发生？
我们的离子枪型号时EX05。曾经尝试在样品表面覆盖金属网以提高样品的导电性，但是效果不明显。
推荐答案：chengxps回复于2005/12/09
补充答案：

feixiong5134回复于2005/12/09

不对吧!您枪的型号跟我们的一样!EX05啊!
我还以为您跟我们的一样呢!也可以调节电压.
看来我还是知道的少!

peem回复于2005/12/07

电子枪中和

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2005/12/7 14:39:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电子枪中和
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2005/12/7 16:29:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用电子枪中和了，电子束0.025mA，仍然很长时间不能够稳定。
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2005/12/7 18:33:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你可以调节中和枪的电压啊!你们用多少的电压?
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2005/12/7 19:50:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你的问题我遇到过，有两个比较有效的方法：1）用双阳极，位移要小的多；2）在刻蚀动作后面，采谱前设定一定的等待时间，还加个flood gun控制
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feixiong5134
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2005/12/7 21:42:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我觉得您说的不对,因为我就刻蚀的时候应该用什么枪问过工程师,他告诉我说;因为一般来说,刻蚀的面积小要比双阳极扫的面积小,所以可能你双阳极打出来的区域就没有刻蚀,一般来说还是用单色器.通过调节电压来降低荷电位移.
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2005/12/7 22:01:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 feixiong5134 发表:
我觉得您说的不对,因为我就刻蚀的时候应该用什么枪问过工程师,他告诉我说;因为一般来说,刻蚀的面积小要比双阳极扫的面积小,所以可能你双阳极打出来的区域就没有刻蚀,一般来说还是用单色器.通过调节电压来降低荷电位移.

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2005/12/9 8:24:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
呵呵,您其实也不必用这两个表情的,其实您对xps懂的那么多,应该是我感到 ,只不过是这个问题我刚刚问了工程师.凑巧会的.以后还要向您学习
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2005/12/9 8:54:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
小兄弟，以前的XPS没有装备单色器，他们一样刻蚀的。] 明白啦吗？

原文由 feixiong5134 发表:
呵呵,您其实也不必用这两个表情的,其实您对xps懂的那么多,应该是我感到 ,只不过是这个问题我刚刚问了工程师.凑巧会的.以后还要向您学习 [/quote
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2005/12/9 9:32:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
哦，是这样的，但是我觉得哪个可能有误差啊！
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2005/12/9 9:46:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不会的，大家都会考虑到这个问题的，刻蚀的面积大于x－ray束斑的面积，你想谁做也会 首先考虑这个问题。

原文由 feixiong5134 发表:
哦，是这样的，但是我觉得哪个可能有误差啊！
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