主题:【求助】机械泵 气压抽不下去

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chengboo
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        大家好,我实验室的镀膜仪(型号:CS-400多靶直流、射频磁控溅射仪)出了些问题,想请教大家一下,谢谢。
        刚开始机械泵(型号:2ZX-4)的三相电压反向了,结果导致喷油,然后把电压接好,清理好喷出的油后,机械泵就不能像以前一样快速抽到10pa以下了,大概抽到40pa左右,再往下抽就很慢了,感觉有地方漏气,希望大家能提出一些意见,谢谢。
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chengboo
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原文由 冬季(lylsg555) 发表:
先检查哪的接口漏气


都检查过了,接口都是密封好的。
chengboo
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原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
是缺油了吧。

   
    油是刚刚换过的,新油。
unht
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原文由 unht(unht) 发表:
三相电压反向,不会是烧掉某些部件了吧...


如果烧掉会有反应呀
changliboli
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