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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】场发射扫描电镜

浏览0 回复2 电梯直达
hechong257
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发表于：2011/10/03 16:11:15 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问场发射扫描电镜（FE-SEM）的原理是什么，比钨丝灯的优势在哪儿？
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mitchell_dyzy
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2011/10/3 18:25:33 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原理是一样的，只是发射枪不同

亮度高，相干性好
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2011/10/3 18:25:53 Last edit by mitchell_dyzy
fengyonghe
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2011/10/3 22:40:07 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
场发射使用单晶金属钨代替钨丝做发射源，单晶金属钨的尖端曲率半径几十纳米，在第一阳极和单晶金属钨之间加有高压，电子在强电场的作用下被拉出形成发射电流。它分为热场发射和冷场发射。热场发射可以得到比钨灯丝更大的束流，有利于能谱分析，但与冷场相比牺牲了分辨率。冷场发射可以得到更细小的束斑，大大提高了分辨率，更有利于图像分析。
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2011/10/4 3:14:43 Last edit by fengyonghe
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