主题:【已应助】质谱仪连接到真空腔必须装阀门吗?

浏览0 回复8 电梯直达
yanrlin
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目前质谱仪连接到真空腔,之间有一阀门,等真空度到一定值后才打开阀门,好像说是保护灯丝.现在我们想改变质谱仪的位置,请问阀门必须要吗?不要阀门等真空度很高了才打开灯丝行吗?谢谢!
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symmacros
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ruan651209
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一是保护灯丝,二是防止返油

后者功能设计更复杂些。
suiniubei
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徐好狗
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他说的看起来像是RGA。。。一般没事的,不开机就可以。
yanrlin
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确认了一下,我们是质谱仪,德国普发的,阀门在真空腔和质谱仪之间,真空腔我们是做高压放电的,现在想换质谱仪的连接位置,想省掉阀门,不知道是否可行。
yanrlin
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还有个问题,现在质谱仪离我们的真空放电腔比较远,从真空放电腔到质谱中间有较长的管道,我们觉得测气体不太灵敏,所以想把质谱仪直接连到真空腔,真空腔体的真空度能达到负5到负6,距离近的话能解决问题吗?
徐好狗
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原文由 yanrlin(yanrlin) 发表:
还有个问题,现在质谱仪离我们的真空放电腔比较远,从真空放电腔到质谱中间有较长的管道,我们觉得测气体不太灵敏,所以想把质谱仪直接连到真空腔,真空腔体的真空度能达到负5到负6,距离近的话能解决问题吗?


pfeiffer的四极杆比较好——RF电压频率高,电压大。

不过这个对放电类的检测是个坏事,残余的等离子体常常会诱发RF高压的放电。

lostking2008
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