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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】求教喷金时间问题

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cui_wg
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发表于：2012/04/25 15:10:49 楼主 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
新买的扫描电镜，正在摸索使用，请教各位老师：
针对不同材料，如何调节离子溅射仪的电流和时间？
喷金的电流和时间与喷金的厚度有没有对应的关系，如电流20mA,时间60s，镀层厚度X纳米
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eric7316
xudong7316
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2012/8/1 15:34:22 沙发 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
一般来说，用于扫描样品时金属的厚度为100-300A，经验的厚度测定由下面的公式得到：
          d=KIVt
其中d是以“埃”为单位的镀膜厚度。
K是常数，取决于溅射金属和所充气体，此时靶与样品之间的距离大约是5cm。
I是等离子流的单位mA。
V是以“kV”为单位所施电压。
t是以秒为单位的时间。
采用金靶和氩气时K为0.17，如用空气K为0.07.因此对于典型的溅射，如：I为8mA，t为100秒，则：d=KIVt=0.17*8*100=136A，即每秒1.36A。
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