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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】求教喷金时间问题

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cui_wg
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发表于：2012/04/25 15:10:49 楼主 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
新买的扫描电镜，正在摸索使用，请教各位老师：
针对不同材料，如何调节离子溅射仪的电流和时间？
喷金的电流和时间与喷金的厚度有没有对应的关系，如电流20mA,时间60s，镀层厚度X纳米
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yangyouran
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2012/5/11 9:44:59 沙发 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
溅射仪的说明书上有溅射速率，你可以根据那个计算出喷金的厚度。一般以观察样品时不荷电为标准确定喷金厚度。平时我用日立的溅射仪喷金，金颗粒直径约4nm左右，若喷的较厚，在观察倍数达到5万倍以上时，可以清楚的看到金颗粒
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