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主题：【原创】电镜观察时如何设置工作距离working distance

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sept
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发表于：2012/07/27 16:41:16 楼主 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
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工作距离指物镜极靴下表面与试样表面之间的距离（在电镜电脑屏幕上通常以WD+数字显示）。

需要注意的是1.真实的WD是需要将电子束聚焦到样品表面之后，显示的WD才准确。（直白翻译：Focus调清楚之后，显示的WD才是真实的）但工作距离与电子束是否聚焦无关，即调不调清楚WD该是多少还是多少。

2.即使电镜的BSE探头在极靴下面，其工作距离仍然是极靴下表面到试样表面。而通常BSE探头厚度2mm左右，因此实际的工作距离是电镜显示的WD-2mm左右。（电镜操作中，如果BSE探头在极靴下，请注意调整Z高度时为其留位，否则会撞坏BSE探头）

做图像观察时，工作距离越小图像分辨率越高。目前越来越多的电镜支持用极小的工作距离来观察nm级的样品。而对断口分析时，为了避免表面不平而导致高的尖端撞击极靴，往往采用大工作距离。

做EDS能谱时，通常具有最佳的工作距离。使尽可能多的x-ray沿探测器轴向进入探测器，从而获得最高计数率。低于或高于此最佳工作距离都会降低x-ray的计数甚至检测不到信号。

而如何了解自己的能谱仪的最佳工作距离呢？

1，自然是工程师安装之后会建议您在xx工作距离下做能谱。该距离通常就是本设备的最佳值。

2如果是INCA系统，我们还可以在软件上发现该最佳距离。路径：INCA-选项-电镜控制。点开电镜控制可以在最下面一行看到：建议的工作距离（毫米）后面的数字是多少，那就请在此距离下做能谱，就可以使能谱在最佳效率下工作。

另外，还需要补充的是，因为多数电镜的样品室较大，允许同时放入多个样品检测。如果也同时需要做能谱分析时，我们建议：

1将高度不同的样品垫高至几乎同高，这样做低样品时，调整到需要的工作距离后，也不需要担心高样品会撞到极靴。

2能谱探头毕竟装在电镜一侧，做低样品时，将其水平旋转，避免高样品阻挡其信号。





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kmyxyyy
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2012/9/9 15:11:28 沙发 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
很详细的阐述嘛
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kmyxyyy
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2012/9/30 23:02:22 板凳 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
很详细。。。。。。。。。。。。
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