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主题：【求助】FEI扫描电镜的HR聚焦问题

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liuyy1976
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发表于：2013/06/24 10:36:44 楼主 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
各位好，我们这里有一台FEI nova650的扫描电镜，前一阵冷水机的水泵突然出现了问题，换了一个水泵后冷水机工作正常了，但是电镜HR模式不能聚焦，厂家工程师过来检测了一下，说控制HR聚焦的电路板子被烧掉了。换一块板子很贵（买了电镜1年半），请问各位大侠有碰到过类似问题的吗？我们第一次遇到这种问题，本来以为电镜的寿命很长很长，应该怎么办呢？谢谢！
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2013/6/27 15:31:18 沙发 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
电镜的寿命不会很长，需要经常维护，换这换那的。除非低频率的用，出问题的机会就稍微少一点。


我也是这么看的，但是Zeiss的有位资深工程师说电镜的性能和使用频率无关，这话我就没发认同。做的频率高肯定容易出问题，我这里的FEI电镜去年DS/GS板子烧坏了，今年MOTOR又坏了，每次都是花好几万，用FEI的设备伤不起啊
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