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主题：【讨论】请教电子束光刻和激光光刻有什么区别？

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cw
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发表于：2013/08/08 14:03:18 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应用方面有什么基本的区别？另外实验室想买一套电子束光刻设备，有什么好的推荐？                           
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asahi42
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2013/8/23 9:17:40 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
激光光刻和电子束光刻因为刻蚀源的波长不一样，光刻胶的敏感度也不一样，精度也不一样。关于电子束曝光系统，FEI的Nova NanoSEM 450上可以配电子束曝光机。
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