泵种类 | 油封机械泵 | 水蒸汽喷射泵 | 罗茨泵 | 油增压泵 | 油扩散泵 |
最佳工作范围(Pa) | 105~10 | 105~102 | 102~1 | 1~10-1 | 5×10-2~10-4 |
1.罗茨泵的前级抽速 | 2.粗抽泵的抽速选择 |
S=(0.1~0.2)S罗 | S=Q1/P预 S=2.3Kq·V·lg(Pa/P预)/t |
S -机械泵有效抽速(升/秒) | S罗 -罗茨泵有效抽速(升/秒) |
Q1 -真空系统漏气率(托·升/秒) | P预 -需要达到的预真空度(托) |
V -真空系统容积(升) | t -达到P预时所需要的时间 |
Pa -大气压值(托) | Kq -修正系数与设备终值时压强P有关 |