主题:【已应助】求文獻1篇

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hanc1202
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【序号】:1
【作者】:P J S Pereira1,2, M L Escrivão1, M R Teixeira1, M J P Maneira1 and Y Nunes1
【题名】:Analytical model and measurements of the target erosion depth profile of balanced and unbalanced planar magnetron cathodes
【期刊】:Plasma Sources Science and Technology
【年、卷、期、起止页码】:2014 Volume 23Number 6
【全文链接】:http://iopscience.iop.org/0963-0252/23/6/065031
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该帖子作者被版主 dong36262积分, 2经验,加分理由:参与应助
dong3626
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