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主题：【已应助】求文獻1篇

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hanc1202
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发表于：2015/05/09 21:54:20 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
【序号】：1
【作者】：
【题名】：Research on Thin Film Thickness Uniformity for Deposition of Rectangular Planar Sputtering Target
【期刊】：

Physics Procedia

【年、卷、期、起止页码】：

Volume 32, 2012, Pages 903–913


【全文链接】：http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1875389212010723
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2015/5/9 22:13:15 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
111111111111111
是自己找到了么？选择已应助分类？
附件：
1-s2.0-S1875389212010723-main (1).pdf
该帖子作者被版主 eginzon加 2积分， 2经验，加分理由：参与应助
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