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主题：【求助】SEM中的工作距离和Z轴的关系

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polylij
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发表于：2015/10/24 21:03:19 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问各位专家，SEM中的工作距离(working distance)究竟是如何定义的呢？和Z轴的数值有何关系呢？ 在做EDS时需要固定工作距离在一定的数值，但是先定好WD后图像不是很清楚，待把图像调清楚后WD又变化了，该如何解决呢？
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Hyl1
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2015/10/25 8:46:55 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
个人理解：调清楚时的WD才是真实的工作距离，和Z值是对应的
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小M
mitchell_dyzy
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2015/10/25 10:44:46 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
工作距离WD是极靴至样品表面的距离。当聚焦清楚时，软件上显示的WD值就是此处样品位置的真实WD。
Z轴的数值只有在做过link Z to WD操作后才是真实的。
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蓝侧卫
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2015/10/28 9:12:33 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原来已经有人发了类似贴,正好学习了
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fengyonghe
fengyonghe
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2015/10/28 15:10:59 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
调整聚焦时调整的是聚光镜电流，不应该影响工作距离                                                                                                       
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