主题:【求助】场发射扫描电镜和热发射扫描电镜电子枪性能问题

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驰奔仪器
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扫描电镜高质量应用,意味着高分辨高信噪比,在一定扫描电镜时间内,追求小束斑大电流,
对于钨灯丝和六硼化X阴极材料的热发射枪扫描电镜,束斑尺寸增加,束斑电流增大,图像信噪比提高,但分辨率降低。束斑尺寸和束斑电流关系如下图LaB6和W,二者呈线性关系,很好理解。
但场发射枪扫描电镜,高分辨范围内,在束斑尺寸也就是分辨率变化很小情况下,束斑电流变化两个数量级,接近100倍,这是什么原因呢? 
见下图 Feild Emssion Gun 曲线
小驰请有操作经验的兄弟姐妹解惑,谢谢!

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小M
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fengyonghe
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超过10nm就不是高分辨率了,钨灯丝枪也可以轻易做到50nm。在10nm处场发射的束流高出两个数量级,体现了其优越性。当束斑直径增大时其面积是与直径的平方成正比的,由于场发射的电子束比钨灯丝的电子束更集中 ,其束流的增大会更快。而钨灯丝的电子束发散度要大些。                   
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2017/3/18 3:49:40 Last edit by fengyonghe
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