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主题：【求助】场发射扫描电镜和热发射扫描电镜电子枪性能问题

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驰奔仪器
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发表于：2017/03/16 17:58:54 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扫描电镜高质量应用，意味着高分辨高信噪比，在一定扫描电镜时间内，追求小束斑大电流，
对于钨灯丝和六硼化X阴极材料的热发射枪扫描电镜，束斑尺寸增加，束斑电流增大，图像信噪比提高，但分辨率降低。束斑尺寸和束斑电流关系如下图LaB6和W，二者呈线性关系，很好理解。
但场发射枪扫描电镜，高分辨范围内，在束斑尺寸也就是分辨率变化很小情况下，束斑电流变化两个数量级，接近100倍，这是什么原因呢？ 
见下图 Feild Emssion Gun 曲线
小驰请有操作经验的兄弟姐妹解惑，谢谢!

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小M
mitchell_dyzy
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2017/3/17 12:20:52 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
太深奥了，不明白其中的道理了，帮顶
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fengyonghe
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2017/3/18 3:26:32 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
超过10nm就不是高分辨率了，钨灯丝枪也可以轻易做到50nm。在10nm处场发射的束流高出两个数量级，体现了其优越性。当束斑直径增大时其面积是与直径的平方成正比的，由于场发射的电子束比钨灯丝的电子束更集中 ，其束流的增大会更快。而钨灯丝的电子束发散度要大些。                   
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2017/3/18 3:49:40 Last edit by fengyonghe
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