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主题：【求助】安捷伦5975一直显示PUMP DOWN..

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发表于：2017/07/10 18:09:16 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

如题。周五进样有点多，上了样就下班了。今日上班发现电脑界面MS未响应，然后MS面板上显示pump down。重启后就一直显示pump down。。离子源温度也只有50多度。。按照以往一般一两个小时就抽好了，不知道什么情况，求大神解答。

该帖子作者被版主 symmacros加 2积分， 2经验，加分理由：发帖。

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2017/7/10 22:05:57 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

涡轮泵转速多少啊

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2017/7/10 22:09:40 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

已经脱机了，pump down可能是假象。关机后检查连线，网络连线等，再开机试试。不希望主板什么的出问题。

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2017/7/11 8:36:05 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 SidLee(v2697000) 发表:
涡轮泵转速多少啊

好像不是涡轮泵

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2017/7/11 8:36:46 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
已经脱机了，pump down可能是假象。关机后检查连线，网络连线等，再开机试试。不希望主板什么的出问题。

好的。我试试

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2017/7/11 8:49:46 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 SNXJ(v3072888) 发表:
好的。我试试

感觉还是不行啊。急死了~

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2017/7/11 8:56:15 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请问仪器通讯好着吗？ping一下GC和MS的地址通不通？有无真空规？在MS小版面什么查看真空和分子泵转速多少？

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2017/7/11 10:00:26 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
请问仪器通讯好着吗？ping一下GC和MS的地址通不通？有无真空规？在MS小版面什么查看真空和分子泵转速多少？

通讯是正常的，我重新配置了MSD。foreline pressure显示20.1mtorr。我查看了MS状态显示高真空泵未就绪。。是不是要喊工程师上门了？

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2017/7/11 10:42:31 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

叫工程师来检查一下吧。

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2017/7/11 11:29:04 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
叫工程师来检查一下吧。

谢谢。。已准备报修。可能是扩散泵加热器坏了

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2017/7/11 13:39:57 10楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

扩散泵有无温度？烫不烫？油够不够？

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